▣ 특징 및 적용
- 0.1㎛ 기준 99.9999999%
- 초박형이고 저압손형임
- 경량이고 설치 및 취급이 용이함
- CLASS 1 이하의 반도체 공정에 적용
< MINI-PLEAT TYPE
초 ULPA FILTER >
▣ 성능곡선
▣ 재질 및 사용조건
▣ 표준사양
※ 상기 규격 이외의 비규격 제품도 주문,제작이 가능합니다.
